進(jìn)口產(chǎn)品CKD真空閥，喜開(kāi)理真空電磁閥

基本簡(jiǎn)介
真空電磁閥是安裝在機械式真空泵上的閥門(mén)。閥門(mén)與泵接在同電源上，
泵的開(kāi)啟與停止直接控制了閥的開(kāi)啟與關(guān)閉。當泵停止工作或電源突然中斷時(shí)，
閥能自動(dòng)將真空系統封閉，并將大氣通過(guò)泵的進(jìn)氣口充入泵腔，
避免泵油返流污染真空系統。真空電磁閥適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣
體。只需1臺即可實(shí)現從低真空
高真空的寬域控制
壓力控制 真空壓力比例控制系統 VEC series
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概要
應用實(shí)例
寬域 快速切斷、排氣控制自如
本品是在半導體線(xiàn)中，為控制真空室內的真空壓力
而設計的系統。
●各種CVD裝置 ●實(shí)驗·研究用途（真空壓力控制）
Close時(shí) Open時(shí)
控制時(shí)
（低真空）
控制時(shí)
（高真空）
※詳情請敝司銷(xiāo)售人員。
進(jìn)口產(chǎn)品CKD真空閥，喜開(kāi)理真空電磁閥
·可慢速排氣：避免揚起閥室內的顆粒
·不需另配切斷用真空閥，實(shí)現裝置的小型化
滿(mǎn)足用戶(hù)不同需求。
⑤ 帶加熱器 ⑥ 變更O型圈
② 大口徑
④ 帶電磁閥
可根據要求，替換各種O型圈
※如需了解可換材料，請敝司銷(xiāo)售人員
為防止附著(zhù)生成物，還可另配加熱器
※適用口徑：NW25～63
除普通規格外，還提供
NW80～160的大口徑產(chǎn)品
還具有兩段式排氣、耐高溫
等特性
※NW80·100…產(chǎn)品目錄
“干式精密綜合”
NW160…按訂單產(chǎn)品
③ 電動(dòng)·多控制
EVB系列
通過(guò)電動(dòng)控制，
可在30度范圍內調節開(kāi)度
實(shí)現多控制！
口徑范圍：
NW25·40·50
對操作用電磁閥采取直接連接、
省空間、滿(mǎn)足各種配管要求
① 手動(dòng)閥
MVB系列
具備AVB系列的全部，
密封結構穩定的手動(dòng)閥
口徑范圍：
NW16～50
※按訂單 ※按訂單 ※按訂單